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ULVAC, Inc.

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  2012 Application Ranking      135th  publications: 339 上昇2011: 167th  266)

  2012 Acquisition Ranking      106th  registrations: 389 上昇2011: 133th  277)

(update:May 17, 2022)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
再表 2011-7834 Film forming apparatus and film forming method Dec 27, 2012
再表 2011-7832 Film deposition equipment Dec 27, 2012
再表 2011-7830 Film deposition equipment Dec 27, 2012
再表 2011-7652 Decompression system and vacuum processing device Dec 27, 2012
特開 2012-256894 Support member, carrier and support method Dec 27, 2012
再表 2011-7831 Film deposition equipment Dec 27, 2012
特開 2012-256707 Mask formation method Dec 27, 2012
再表 2011-7580 Substrate processing method Dec 20, 2012
特開 2012-251623 Slide valve Dec 20, 2012
特開 2012-253209 Dry etching apparatus and dry etching method Dec 20, 2012
特開 2012-251193 Film forming method and film forming apparatus Dec 20, 2012
特開 2012-251624 Slide valve Dec 20, 2012
特開 2012-251119 Porous silica precursor composition and method for producing the same, porous silica film and method for producing the same, and semiconductor device Dec 20, 2012
特開 2012-251213 Film deposition equipment Dec 20, 2012
特開 2012-246506 Mobile device Dec 13, 2012

1-15 (total:339)

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