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ULVAC, Inc.
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■ 2013 Application Ranking 112th publications: 434
（
2012: 135th 339）
■ 2013 Acquisition Ranking 104th registrations: 384
（2012: 106th 389）
（update：Jan 27, 2023）
ULVAC, Inc.の商標一覧| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5374373 | Organic material steam generator, film formation source, organic EL film formation device | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5379246 | Manufacturing method of semiconductor equipment and film formation equipment | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5378902 | Plasma processing method of plasma processing equipment and plasma processing equipment | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5379717 | Vapor deposition mask | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5378193 | Plasma film forming equipment and film forming method | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5379909 | Viscoelasticity measuring method and viscoelasticity measuring device | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5374237 | Alignment method of discharge device and discharge device | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5374109 | Heat vacuum treatment method | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5378192 | Film deposition equipment | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5378517 | Vacuum film deposition equipment and shutter plate position detection method for vacuum film deposition equipment | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5377666 | Vacuum exhaust device, vacuum exhaust method and substrate processing device | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5378526 | Gate valve | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5374374 | Organic thin film manufacturing method | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5378416 | Plasma processing equipment | Dec 25, 2013 | |
| 特許 5374521 | Temperature detector, heating device, substrate heating method | Dec 25, 2013 |
1-15 (total:384)
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5374373 5379246 5378902 5379717 5378193 5379909 5374237 5374109 5378192 5378517 5377666 5378526 5374374 5378416 5374521
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