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ULVAC, Inc.

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  2021 Application Ranking      291th  publications: 132 下降2020: 192th  224)

  2021 Acquisition Ranking      322th  registrations: 84 下降2020: 293th  94)

(update:May 17, 2022)

2011  2012  2013  2014  2015  2016  2017  2018  2019  2020  2022 

Publication numberTitle of the InventionPublic. dateRemarks
2021-14675 Vacuum processing equipment Dec 23, 2021
2021-124448 Measurement abnormality detection device and measurement abnormality detection method Dec 23, 2021
A 2021-188113 Plasma processing equipment Dec 13, 2021
A 2021-188940 Measurement abnormality detection device and measurement abnormality detection method Dec 13, 2021
A 2021-190323 Manufacturing method and manufacturing equipment for energized heating wire Dec 13, 2021
A 2021-190333 Manufacturing method and manufacturing equipment for energized heating wire Dec 13, 2021
2021-117302 Manufacturing method of aluminum alloy target, aluminum alloy wiring film, and aluminum alloy wiring film Dec 9, 2021
2021-106262 Film formation method Dec 2, 2021
A 2021-183714 Thin-film deposition source for vacuum-film deposition equipment Dec 2, 2021
A 2021-182473 Method for manufacturing thin-film lithium secondary battery and thin-film lithium secondary battery Nov 25, 2021
2020-145207 Vacuum processing equipment, cleaning method of vacuum processing equipment Nov 18, 2021
2021-79589 Film forming equipment Nov 18, 2021
A 2021-178984 Substrate stage and plasma processing method for plasma processing equipment Nov 18, 2021
A 2021-180074 Method for manufacturing thin-film lithium secondary battery and thin-film lithium secondary battery Nov 18, 2021
2020-145190 Vacuum processing equipment Nov 11, 2021

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