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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第145位 368件 (2016年:第117位 374件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第139位 238件 (2016年:第147位 240件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6227347 | 露光装置、および、光学装置 | 2017年11月 8日 | |
特許 6227424 | 石定盤、石定盤の加工方法、石定盤の製造方法および基板処理装置 | 2017年11月 8日 | |
特許 6228516 | 経路案内装置、経路案内方法、および経路案内プログラム | 2017年11月 8日 | |
特許 6228800 | 基板処理装置 | 2017年11月 8日 | |
特許 6221155 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6222558 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6222817 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6222818 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6223091 | 位置計測装置、アライメント装置、パターン描画装置および位置計測方法 | 2017年11月 1日 | |
特許 6224359 | 基板処理装置のためのスケジュール作成方法およびスケジュール作成プログラム | 2017年11月 1日 | |
特許 6224501 | 基板処理装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6224936 | 画像形成システムおよび処理液塗布装置 | 2017年11月 1日 | |
特許 6219848 | 処理装置とその排気切換装置並びに排気切換ユニットと切換弁ボックス | 2017年10月25日 | |
特許 6220501 | 熱処理装置 | 2017年10月25日 | |
特許 6220503 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2017年10月25日 |
250 件中 46-60 件を表示
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6227347 6227424 6228516 6228800 6221155 6222558 6222817 6222818 6223091 6224359 6224501 6224936 6219848 6220501 6220503
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