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ASM IP Holding Bee. buoy.

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  2015 Application Ranking      1982th  publications: 11 上昇2014:   0)

  2015 Acquisition Ranking      23268th  registrations: 0 上昇2014:   0)

(update:May 17, 2022)

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Publication numberTitle of the InventionPublic. dateRemarks
A 2015-233137 Reactive curing process for semiconductor substrates Dec 24, 2015
A 2015-211216 Substrate processing equipment Nov 24, 2015
A 2015-201638 Anti-slip end effector that transports workpieces using van der Waals forces Nov 12, 2015
A 2015-192148 Methods and systems for sending hydrogen peroxide to the semiconductor processing chamber Nov 2, 2015
A 2015-179843 How to perform uniform processing in a gas system that shares multiple reaction chambers Oct 8, 2015
A 2015-161030 How to supply gas to the chamber using a gas supply manifold and a gas supply manifold Sep 7, 2015
A 2015-88751 How to trim a carbon-containing film at a reduced trimming rate May 7, 2015
A 2015-74831 Method of forming Ti-containing film by PEALD using TDMAT or TDEAT Apr 20, 2015
A 2015-73095 How to manufacture wire-based semiconductor devices Apr 16, 2015
A 2015-61075 Method of forming an oxide film by plasma assist process Mar 30, 2015
A 2015-2349 A method of controlling the in-plane uniformity of a substrate treated by a plasma assist process Jan 5, 2015

1-11 (total:11)

: select publication number

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2015-233137 2015-211216 2015-201638 2015-192148 2015-179843 2015-161030 2015-88751 2015-74831 2015-73095 2015-61075 2015-2349

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