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ASM IP Holding Bee. buoy.

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  2016 Application Ranking      3542th  publications: 5 下降2015: 1982th  11)

  2016 Acquisition Ranking      24808th  registrations: 0 下降2015: 23268th  0)

(update:May 24, 2022)

2011  2012  2013  2014  2015  2017  2018  2019  2020  2021  2022 

Publication numberTitle of the InventionPublic. dateRemarks
A 2016-149526 Semiconductor manufacturing equipment Aug 18, 2016
A 2016-134623 Plasma enhanced atomic layer etching method Jul 25, 2016
A 2016-108655 Film deposition equipment Jun 20, 2016
A 2016-63232 SiN deposition Apr 25, 2016
A 2016-18994 Equipment and methods for prebaking the substrate upstream of the processing chamber Feb 1, 2016

1-5 (total:5)

: select publication number

Copy all numbers

2016-149526 2016-134623 2016-108655 2016-63232 2016-18994

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