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■ 2016 Application Ranking 3542th publications: 5
(2015: 1982th 11)
■ 2016 Acquisition Ranking 24808th registrations: 0
(2015: 23268th 0)
(update:Jun 2, 2023)
Publication number | Title of the Invention | Public. date | Remarks |
---|---|---|---|
A 2016-149526 | Semiconductor manufacturing equipment | Aug 18, 2016 | |
A 2016-134623 | Plasma enhanced atomic layer etching method | Jul 25, 2016 | |
A 2016-108655 | Film deposition equipment | Jun 20, 2016 | |
A 2016-63232 | SiN deposition | Apr 25, 2016 | |
A 2016-18994 | Equipment and methods for prebaking the substrate upstream of the processing chamber | Feb 1, 2016 |
1-5 (total:5)
※ : select publication number
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2016-149526 2016-134623 2016-108655 2016-63232 2016-18994
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