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ASM IP Holding Bee. buoy.
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■ 2017 Application Ranking 1994th publications: 12
（
2016: 3542th 5）
■ 2017 Acquisition Ranking 5450th registrations: 2
（2016: 24808th 0）
（update：Jan 11, 2022）
| Publication number | Title of the Invention | Public. date | Remarks |
|---|---|---|---|
| A 2017-216448 | Organic membrane deposition | Dec 7, 2017 | |
| A 2017-201692 | Formation of SiOC thin film | Nov 9, 2017 | |
| A 2017-174402 | Preventive maintenance system, preventive maintenance method | Sep 28, 2017 | |
| A 2017-147444 | A method of selectively forming a silicon nitride film on the side wall or flat surface of a trench | Aug 24, 2017 | |
| 2017-521549 | Fluorine-containing conductive film | Aug 3, 2017 | |
| A 2017-92475 | Formation of SiOCN thin film | May 25, 2017 | |
| A 2017-78223 | Method of depositing a dielectric film in a trench by PEALD | Apr 27, 2017 | |
| A 2017-79327 | Formation of SiN thin film | Apr 27, 2017 | |
| A 2017-76784 | Gas phase deposition of organic membrane | Apr 20, 2017 | |
| A 2017-41628 | Suceptor, substrate processing equipment | Feb 23, 2017 | |
| A 2017-41632 | Selective deposition of materials containing aluminum and nitrogen | Feb 23, 2017 | |
| 2017-501303 | Sulfur-containing thin film | Jan 12, 2017 |
1-12 (total:12)
※ : select publication number
Copy all numbers
2017-216448 2017-201692 2017-174402 2017-147444 2017-521549 2017-92475 2017-78223 2017-79327 2017-76784 2017-41628 2017-41632 2017-501303
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