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ASM IP Holding Bee. buoy.
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■ 2019 Application Ranking 2345th publications: 9
（
2018: 2064th 10）
■ 2019 Acquisition Ranking 2333th registrations: 6
（2018: 1989th 8）
（update：Jan 11, 2022）
| Publication number | Title of the Invention | Public. date | Remarks |
|---|---|---|---|
| A 2019-218626 | Substrate processing equipment, storage medium, substrate processing method | Dec 26, 2019 | |
| A 2019-201406 | Insulation system, substrate processing equipment | Nov 21, 2019 | |
| A 2019-194353 | Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD) of SiN with Silicon Hydrohalide Precursor | Nov 7, 2019 | |
| A 2019-195059 | Selective layer formation using deposition and removal | Nov 7, 2019 | |
| A 2019-186541 | Substrate processing method | Oct 24, 2019 | |
| A 2019-145761 | Substrate processing method and equipment | Aug 29, 2019 | |
| 2019-518134 | A system that combines annealing and selective deposition | Jun 27, 2019 | |
| A 2019-62225 | Si precursor for vapor deposition of SiN at low temperature | Apr 18, 2019 | |
| A 2019-29652 | Method of depositing membrane by PEALD using negative bias | Feb 21, 2019 |
1-9 (total:9)
※ : select publication number
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2019-218626 2019-201406 2019-194353 2019-195059 2019-186541 2019-145761 2019-518134 2019-62225 2019-29652
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