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ASM IP Holding Bee. buoy.

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  2020 Application Ranking      1197th  publications: 21 上昇2019: 2345th  9)

  2020 Acquisition Ranking      2418th  registrations: 6 下降2019: 2333th  6)

(update:May 17, 2022)

2011  2012  2013  2014  2015  2016  2017  2018  2019  2021  2022 

Publication numberTitle of the InventionPublic. dateRemarks
A 2020-204093 Substrate processing equipment, cleaning method inside the chamber Dec 24, 2020
A 2020-191444 Equipment operation method and board processing equipment Nov 26, 2020
A 2020-191450 Substrate susceptor with edge purge Nov 26, 2020
A 2020-191473 SiN deposition Nov 26, 2020
A 2020-188254 Wafer boat handling equipment, vertical batch furnaces and methods Nov 19, 2020
A 2020-188255 Wafer boat handling equipment, vertical batch furnaces and methods Nov 19, 2020
A 2020-172704 Selective deposition of metal oxides on metal surfaces Oct 22, 2020
A 2020-167380 Substrate processing equipment Oct 8, 2020
A 2020-155776 Reactor manifold Sep 24, 2020
A 2020-145461 Si precursor for thin film deposition of SiN at low temperature Sep 10, 2020
2020-520126 Selective PEALD of oxide on dielectric Jul 2, 2020
2020-519007 Plasma-enhanced deposition process for controlled formation of oxygen-containing thin films Jun 25, 2020
A 2020-65087 Formation of SiOCN thin film Apr 23, 2020
A 2020-61549 Substrate processing equipment Apr 16, 2020
A 2020-56104 Selective passivation and selective deposition Apr 9, 2020

1-15 (total:21)

1 2next>

: select publication number

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2020-204093 2020-191444 2020-191450 2020-191473 2020-188254 2020-188255 2020-172704 2020-167380 2020-155776 2020-145461 2020-520126 2020-519007 2020-65087 2020-61549 2020-56104

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