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ASM IP Holding Bee. buoy.
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■ 2022 Application Ranking 485th publications: 2
（
2021: 1259th 20）
■ 2022 Acquisition Ranking 855th registrations: 0
（2021: 1703th 10）
（update：Jan 11, 2022）
| Publication number | Title of the Invention | Public. date | Remarks |
|---|---|---|---|
| A 2022-3689 | Formation of SiOCN thin film | Jan 11, 2022 | |
| A 2022-544 | Atomic layer deposition of rhenium-containing thin film | Jan 4, 2022 |
1-2 (total:2)
※ : select publication number
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2022-3689 2022-544
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1月25日(火) -
1月25日(火) -
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1月28日(金) -
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2月4日(金) -
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1月31日(月) -
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