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EBARA CORPORATION

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  2018 Application Ranking      114th  publications: 380 上昇2017: 123th  417)

  2018 Acquisition Ranking      170th  registrations: 177 上昇2017: 183th  176)

(update:May 17, 2022)

2011  2012  2013  2014  2015  2016  2017  2019  2020  2021  2022 

Publication numberTitle of the InventionPublic. dateRemarks
B 6444785 Polishing apparatus, control method thereof, and dressing condition output method Dec 26, 2018
B 6445241 Eddy current sensor Dec 26, 2018
B 6445292 Vacuum pump Dec 26, 2018
B 6445298 Polishing apparatus and processing method Dec 26, 2018
B 6445357 Equipment for exchanging components of semiconductor device manufacturing equipment Dec 26, 2018
B 6445771 Correction method of film thickness measurement value and film thickness corrector Dec 26, 2018
B 6445785 Electric motor and pump equipped with the same Dec 26, 2018
B 6445924 Polishing equipment Dec 26, 2018
B 6441660 Vacuum pump with detoxification function Dec 19, 2018
B 6437529 Energy recovery system Dec 12, 2018
B 6438209 Control device for generating timing signal for imaging device in inspection device, method for sending timing signal to imaging device Dec 12, 2018
B 6435036 Rotation holding device and substrate cleaning device Dec 5, 2018
B 6430152 Liquid pumps and liquid pump systems Nov 28, 2018
B 6430177 Buff processing module and processing device Nov 28, 2018
B 6430702 Support structure of the reflector of laser length measuring machine Nov 28, 2018

1-15 (total:178)

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: select publication number

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6444785 6445241 6445292 6445298 6445357 6445771 6445785 6445924 6441660 6437529 6438209 6435036 6430152 6430177 6430702

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