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Tokyo Electron Limited

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  2013 Application Ranking      60th  publications: 712 下降2012: 53th  714)

  2013 Acquisition Ranking      45th  registrations: 796 下降2012: 37th  902)

(update:Jun 18, 2021)

2011  2012  2014  2015  2016  2017  2018  2019  2020  2021 

公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5372779 Atomic layer deposition system and method Dec 18, 2013 共同出願
特許 5369538 Liquid treatment equipment, liquid treatment method, and storage medium Dec 18, 2013
特許 5368393 Vaporizer, substrate processing device and coating / developing device Dec 18, 2013
特許 5373853 Manufacturing method of semiconductor devices Dec 18, 2013
特許 5371238 Plasma processing equipment and plasma processing method Dec 18, 2013
特許 5372836 A recording medium and a liquid treatment apparatus on which a liquid treatment method and a program for executing the liquid treatment method are recorded. Dec 18, 2013
特許 5373142 Amorphous silicon film film forming method and film forming equipment Dec 18, 2013
特許 5368514 Plasma processing equipment Dec 18, 2013
特許 5369128 Floating coating device Dec 18, 2013
特許 5373669 Manufacturing method of semiconductor devices Dec 18, 2013
特許 5371605 Vacuum drying device and vacuum drying method Dec 18, 2013
特許 5372895 Substrate processing method Dec 18, 2013
特許 5373143 Manufacturing method of semiconductor devices and embedding method of contact holes and / or lines Dec 18, 2013
特許 5367522 Plasma processing equipment and shower head Dec 11, 2013
特許 5363213 Anomaly detection system, anomaly detection method, storage medium and substrate processing equipment Dec 11, 2013

31-45 (total:794)

: select publication number

Copy all numbers

5372779 5369538 5368393 5373853 5371238 5372836 5373142 5368514 5369128 5373669 5371605 5372895 5373143 5367522 5363213

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